電子特氣管道系統(tǒng),簡稱特氣系統(tǒng)由存儲、輸送、分配、控制四類組成,其中“存儲"是指氣源部分(特氣柜GC),“輸送"指配管方面(一般用雙套管),“分配"指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制"指監(jiān)督控制部分(氣體管理系統(tǒng)GMS)。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。
全自動GC(特氣柜)按功能設(shè)計可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
單鋼的設(shè)計通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒炇业取9に囍瞥躺形从辛慨a(chǎn),氣體使用量小,現(xiàn)場可隨時協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換,其優(yōu)點節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。
雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠,工藝制程不允許停機(jī)情況,當(dāng)一支鋼瓶使用完后,另一支備用鋼瓶會自動轉(zhuǎn)為供氣,此兩種形式最大的差別是在吹掃管路的高純氮氣是以鋼瓶或廠務(wù)端供應(yīng),當(dāng)吹掃用的高純氮氣統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時,所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容,全部連接到同一個供應(yīng)源,會有較高的風(fēng)險值;萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的高純氮氣中斷,警報系統(tǒng)又損壞,恰巧兩種不相容的氣體同時使用吹掃,此時極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生,相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來吹掃增加的成本及空間非常有限,是一種非常好的應(yīng)變方式。
特氣系統(tǒng)的/GR特氣架的設(shè)置須符合下列規(guī)定:
氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置;不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中;氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板;系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實;氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓,柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h;自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器;氣瓶柜柜體 外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm, 并應(yīng)有防腐蝕涂層;氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能, 并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求;氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌;當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境時,其設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。
是專為腐性,毒性等危險性氣體供應(yīng)而設(shè)計的供應(yīng)系統(tǒng),主材選用SS316L,基本功能包括自動吹掃,自動切換,以及自動切斷(當(dāng)設(shè)定報警信號被觸發(fā)時)。在制造業(yè)的范疇內(nèi),特別是涉及到半導(dǎo)體與高精度化學(xué)制品的領(lǐng)域,特種氣體(特氣)扮演著至關(guān)重要的基礎(chǔ)材料角色。確保這些氣體穩(wěn)定、安全地供給到生產(chǎn)線,是維持高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。特氣管道工程是一種危險性很高的工程,是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應(yīng)系統(tǒng),所以,為了用氣安全,在安裝特氣系統(tǒng)時,要嚴(yán)格遵守其中的一些規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。